Gellir rhannu targedau sputtering yn dargedau planar a thargedau cylchdroi yn ôl eu siapiau. Mae targedau planar yn dargedau hir, targedau sgwâr, neu dargedau crwn gyda thrwch penodol, ac ati, a wneir trwy rwymo targed yn wag a phlât cefn. Yn ystod sputtering, mae'r gwag targed a'r swbstrad yn gyfochrog â'i gilydd, ac mae maes electromagnetig yn cael ei ffurfio rhwng y gwag targed a'r swbstrad. Mae targedau cylchdroi yn dargedau tiwbaidd, a ffurfir maes electromagnetig tuag at y swbstrad yn ystod sputtering. Mae targedau cynllunar yn fwy amlbwrpas, ond mae ganddynt gyfradd defnyddio is; mae gan dargedau cylchdroi gyfradd defnyddio uwch, ond unffurfiaeth cotio gwael.
Manteision Targedau Cylchdroi
1. Mae gan dargedau cylchdroi ddefnydd uwch o ddeunydd
Gall targedau cylchdroi ddefnyddio'r arwyneb targed yn gyfartal yn ystod cylchdroi, a thrwy hynny wella'r defnydd o ddeunydd y targed, a all fel arfer gyrraedd 70% -90%. Fodd bynnag, gan mai dim ond un ochr sefydlog o'r targed planar sy'n ymwneud â sputtering, bydd "rhigolau" neu "byllau" yn cael eu ffurfio yn ystod y defnydd, gan arwain at ddefnydd anwastad o ddeunydd, ac mae'r gyfradd defnyddio deunydd yn gyffredinol 30% -40%. Ar gyfer targedau drud (fel metelau gwerthfawr neu ddeunyddiau daear prin), gall targedau cylchdroi leihau costau yn sylweddol a gwella buddion economaidd.
2. Mae gan dargedau cylchdroi well unffurfiaeth sputtering
Mae targedau cylchdroi yn cylchdroi yn barhaus yn ystod gweithrediad, fel bod pob safle ar yr wyneb targed yn agored i'r plasma yn gyfartal, gan ffurfio cyfradd sputtering fwy unffurf. Mae gan hyn fanteision amlwg ar gyfer cymwysiadau â gofynion uchel ar gyfer unffurfiaeth ffilm (fel arddangosfeydd a phrosesau lled-ddargludyddion). Mae targedau planar yn dueddol o drwch ffilm anwastad oherwydd gor-sputtering lleol, yn enwedig mewn swbstradau ardal fawr neu gynhyrchu parhaus.
3. Mae gan dargedau cylchdroi fywyd gwasanaeth hirach
Gan fod targedau cylchdroi yn defnyddio mwy o ddeunydd unffurf, mae eu bywyd gwasanaeth fel arfer yn hirach na thargedau planar. Mae hyn yn golygu, o dan yr un amodau gwaith, bod amlder ailosod y targed cylchdroi yn is, sy'n lleihau amser segur offer ac yn gwella effeithlonrwydd cynhyrchu. Ar gyfer rhai prosesau cynhyrchu parhaus, megis caenu arwynebedd mawr a gorchudd rholio i rolio, gall y targed cylchdroi ymestyn y cylch cynhyrchu yn sylweddol a lleihau costau cynnal a chadw.
4. Mae gan dargedau cylchdroi ansawdd ffilm uwch
Mae'r haen ffilm sy'n cael ei chwistrellu gan y targed cylchdroi yn ddwysach ac yn fwy unffurf, sy'n addas ar gyfer rhai cymwysiadau sydd â gofynion hynod o uchel ar gyfer ansawdd ffilm (megis dyfeisiau electronig diwedd uchel a gweithgynhyrchu dyfeisiau lled-ddargludyddion). Mae hyn oherwydd y gall y targed cylchdroi leihau'r diffygion a achosir gan sputtering anwastad ar yr wyneb targed yn effeithiol a gwella ansawdd a chysondeb yr haen ffilm.
Casgliad
O'u cymharu â thargedau planar, mae gan dargedau cylchdro ddefnydd uwch o ddeunyddiau, bywyd gwasanaeth hirach, effaith sputtering mwy unffurf, a gallu i addasu i -arwynebedd mawr a chynhyrchiad cyfaint uchel. Mae hyn yn gwneud targedau cylchdro yn ddewis pwysig ym maes dyddodiad ffilm tenau modern, yn enwedig mewn -cotio arwynebedd mawr, cynhyrchu parhaus, a gweithgynhyrchu dyfeisiau electronig diwedd uchel.