Mo Ion Mewnblaniad Rhannau Sbâr

Mae mewnblannu ïon yn dechnoleg bwysig iawn mewn gweithgynhyrchu cylched integredig modern, sy'n defnyddio peiriant mewnblannu ïon i gyflawni dopio lled-ddargludyddion. Mae'n defnyddio gwifren twngsten fel y catod i allyrru electronau i beledu moleciwlau nwy sy'n cynnwys elfennau amhuredd penodol, gan gynhyrchu atomau amhuredd penodol wedi'u ïoneiddio sy'n cael eu cyflymu gan faes electrostatig a tharo wyneb wafer grisial sengl silicon, ac yna'n cael ei fewnblannu yn y lled-ddargludydd i newid. y nodweddion dargludedd ac yn y pen draw yn ffurfio strwythur transistor.

Oherwydd yr eiddo cemegol tymheredd uchel sefydlog, dadffurfiad thermol bach, a bywyd gwasanaeth hir deunyddiau molybdenwm twngsten, mae cydrannau ffynhonnell ïon a nwyddau traul peiriannau mewnblannu ïon yn y diwydiant lled-ddargludyddion yn cael eu gwneud yn bennaf o ddeunyddiau twngsten a molybdenwm. Mae'r dyfeisiau hyn yn cynnwys tiwbiau cysgodi ar gyfer allyrru cathodau electron, paneli allyriadau, rhodenni gosod canolog, a phlatiau gwifren yn y siambr arc. Gyda'n gilydd, rydym yn cyfeirio atynt fel rhannau twngsten ar gyfer mewnblannu ïon a rhannau molybdenwm ar gyfer mewnblannu ïon.

Tagiau poblogaidd: rhannau sbâr mewnblannu ïon mo, cyflenwyr rhannau sbâr mewnblannu ïon Tsieina, ffatri