Silicon Nitride (Si3N4) Targed Sputtering

Silicon nitride sputtering targed yn fath o targed sputtering seramig nitride. Mae Si3N4 yn ddeunydd cerameg pwynt toddi uchel sy'n hynod o galed ac yn gymharol anadweithiol yn gemegol. Mae Si3N4 yn cael ei baratoi trwy wresogi silicon powdr rhwng 1300 gradd a 1400 gradd mewn awyrgylch o nitrogen. Yna gellir sintered y powdr o nitrid silicon i'r siâp a ddyluniwyd. Defnyddir targed sputter silicon nitride ar gyfer dyddodiad ffilm tenau.

Tagiau poblogaidd: silicon nitride (si3n4) sputtering targed, Tsieina silicon nitride (si3n4) sputtering targed cyflenwyr, ffatri